완제품 웨이퍼 생산: DMSO는 벌크 포토레지스트 스트리핑 (컬러 레지스트 도포 후 가장자리 잔유물을 제거하는데 쓰이는 세정)의 구성 성분으로 사용되며, NMP (N-methylpyrollidone)와 ERB (Edge Bead Remover)의 안전한 대체제입니다.

최근 한국에서는 반수 (Semi-aqueos) DMSO의 세척 기능이 플라즈마 에싱  공정 후, 포스트 에칭 잔여물 제거제로 이용되고 있습니다.

상위 활용을 위한 알맞은 DMSO 찾기 – DMSO EL10 알아보기

 

신흥 기술, DMSO의 활용:

코팅 용액  리퀴드 포토레지스트 포뮬레이션은 기질 위에 회전되는 고분자 솔루션입니다. 하나 혹은 그 이상의 베이킹 단계들은 리소그래픽 패터닝에 적합한 레지스트 필름을 생산하기 위해 포뮬레이션 용매를 활성화시키는데 사용됩니다. DMSO는 물질의 안정성을 위해 극성 첨가물을 사용해야 하는 레지스트 응용에 있어서 보조용매로 사용될 수 있습니다.

웨이퍼의 두께를 줄이는 첨가물  백래핑 공정에는 GaAs 웨이퍼를 갈기 위해 첨가물질을 사용하는데, DMSO는 이 단계가 끝났을 때, 첨가물질들을 제거하는데 유용합니다.

2차 리튬 이온 배터리 제조 공정  DMSO는 리튬염 전해질과 배터리PVDF 바인더 용액으로 알려져 있습니다. Kynar PVDF의 용해성은 DMSO나 NMP에서 비슷하며, 흡사한 점도를 보입니다.

Rework 분야  DMSO는 초소형 전자 성분의 결함을 재작업 하는데 사용되는 효과적 용액으로, TFT-LCD 색조 필터에서 사용하는 폴리이미드 필름 (Polyimide Film)과 완성된 웨이퍼 필름 (Finished Wafer Passivation Film) 을 제거하는데 사용되기도 합니다. 또한 DMSO는 인쇄 배선/회로의 재작업에도 유용하게 쓰일 수도 있습니다.

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게이로드사는 반도체 생산 과정에서 세척제로 흔히 사용되는 물질들의 용해도 및 관련 데이터를 구축하였습니다. 이를 통해 세정제로써 DMSO와 다른 용해제들의 쓰임을 비교했습니다.

– 파지티브/네거티브 포토레지스트 조성물에 사용되는 필름

– 웨이퍼 패키징 첨가물과 유전체 형성에 사용되는 필름

– 두꺼운 레지스트 성분

게이로드사는 기본적인 첨가물 (e.g. 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드나 모노에탄올아민) 및 다른 조합된 용매들과 DMSO와의 상용성에 대한 조언을 제공할 수 있으며, 공식 관련 질문이나 더 자세한 정보는 “연락 정보/샘플 요청”을 통해 문의 바랍니다.