TFT-LCD 제조: 박막 트랜지스터의 패턴을 만들기 위한 포토 리소그래픽 과정에서, DMSO는 에타놀아민과 결합되어 강력한 포토레지스트 제거제로 사용됩니다. 또한 많은 공장에서 순수 DMSO를 세척 용액, 희석제 (가장자리 세척을 위한) 로써 사용하며, 색조 필터의 재작업 시에도 사용됩니다.

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상위 활용을 위한 알맞은 DMSO 찾기 – DMSO EL10 알아보기
솔더범퍼 패터닝: 웨이퍼 생산의 마지막 단계는 칩 기판 표면에 전선 연결을 대신해 솔더 범퍼를 만드는 것입니다. DMSO는 두꺼운 스핀온 포토레지스트 물질을 벗겨내는데 사용되는 스트리퍼 (포뮬레이션)의 유용한 성분으로 사용됩니다. 두꺼운 스핀온 포토레지스트 물질은 C4 웨이퍼 레벨 패키징 기술의 솔퍼 범퍼 패터닝하는데 사용됩니다.

DMSO조성물은 플립칩 생산과정에 활발히 쓰이는 드라이필름 아크릴계 포토레지스트를 제거하기 위한 제제로 개발되었습니다. 플립칩 생산 기술은 휴대전화 부품과 같은 고용량 패키징 활용 시 주로 사용됩니다.

 

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게이로드사는 반도체 생산 과정에서 세척제로 흔히 사용되는 물질들의 용해도 및 관련 데이터를 구축하였습니다. 이를 통해 세정제로써 DMSO와 다른 용해제들을 비교했습니다.

– 파지티브/네거티브 포토레지스트 조성물에 사용되는 필름

– 웨이퍼 패키징 첨가물과 유전체 형성에 사용되는 필름

– 두꺼운 레지스트 성분

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(캡션) 게이로드 마이크로전자 화학 응용 데이터에서 발췌

게이로드사는 기본적인 첨가물 (e.g. 테트라메틸 암모늄 하이드록사이드나 모노에탄올아민) 및 다른 조합된 용매들과 DMSO와의 상용성에 대한 조언을 제공할 수 있으며, 공식 관련 질문이나 더 자세한 정보는 “연락 정보/샘플 요청”을 통해 문의 바랍니다.