마이크로 전자 

마이크로전자 장치의 공정과정에는 여러 가지 어플리케이션을 위해 다양한 용매을 사용합니다. 용매은 그 물질의 다양한 특성을 고려해서 결정되는데, 예를 들어 코팅을 준비하고, 포토레지스트 (감광수지)와 관련 고분자를 제거하고, 일반적인 세척을 하는 등의 성질을 감안합니다. 전자산업이 계속 새로운 기술과 사업 모델을 개발함에 따라 세척 개선, 안전 규정 준수와 비용 절감에 관한 심각한 해결과제들이 생겨나고 있습니다.

디메틸설폭사이드 (DMSO)는 많은 고분자들의 용제로 흔히 사용되는 물질로,  전자산업의 목표를 성취할 수 있도록 하는데 결정적인 역할을 합니다. 최근 DMSO는 전자산업의 특정 부분을 위해 사용되고 있으며, 활용분야는 아래와 같습니다.

DMSO의  화학적 성질 세척을 이용한 핵심 기술들:

TFT-LCD 디스플레이 제조:  포토리소그래피/패턴화 후의 포토리지스트 제거

솔더 범프 패턴화: 발전된 패킹 과정에서의 도포제  혹은 스핀온 레지스트의 제거

완성된 웨이퍼 생산: 직접회로(IC)  제조 과정의DMSO

신흥 기술 : 개발시 다양한 DMSO 마이크로 전자